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? XY方向分辨率高達(dá)20微米
? Z方向重復(fù)性高達(dá)2微米
? 超大掃描視野，高達(dá)282 x 175毫米
? 200萬(wàn)像素和500萬(wàn)像素立體相機(jī)設(shè)計(jì)，最小化遮擋，實(shí)現(xiàn)高精度